Microcircuit engineering 87, ME - proceedings of the International Conference on Microlithography, September 22-25, 1987, Paris, France
- Författare
- J. Perrocheau R. Castagné International Conference on Microlithography 1987) (Paris :
- (Edited by: R. Castagné and J. Perrocheau.)
- Genre
- Konferenser, Ej skönlitteratur, Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | Nederländerna | 708 sidor. ill. |